1.技术参数

采样分析周期：20s

振频范围：小于600cpm（10Hz）

结晶器振动最大可测峰峰值：20mm

主振位移测量精度：±0.05mm

偏振位移测量精度：±0.05mm

同步性测量精度：0.001s

振频测量精度：1cpm（0.02Hz）

检测通道数：2

2.软件功能

有效检测结晶器竖直方向振动的幅度与振频

有效检测结晶器水平方向偏振幅度

有效检测非正弦的振动波形及偏斜率

有效检测板坯不同测点的振动同步性

图形显示振动加速度、速度与位移波形

图形显示振动频谱，可观察结晶器振动中其他干扰源频率

图形显示X-Y位移轨迹图，可直观分析结晶器偏振及同步性

可保存检测数据并回放历史数据